GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜
作者:标准资料网
时间:2024-05-22 01:45:01
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基本信息
标准名称: | 硬面光掩模用铬薄膜 |
英文名称: | Chrome thin films for hard surface photomasks |
中标分类: | 电子元器件与信息技术 >> 电子工业生产设备 >> 加工专用设备 |
ICS分类: | |
发布部门: | 国家技术监督局 |
发布日期: | 1995-01-02 |
实施日期: | 1996-08-01 |
首发日期: | 1995-12-22 |
作废日期: | 1900-01-01 |
主管部门: | 国家标准化管理委员会 |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
起草单位: | 长沙韶光微电子总公司 |
出版社: | 中国标准出版社 |
出版日期: | 1996-08-01 |
页数: | 平装16开, 页数:8, 字数:10千字 |
适用范围
本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜。
前言
没有内容
目录
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引用标准
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所属分类: 电子元器件与信息技术 电子工业生产设备 加工专用设备
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